压力传感器不可避免的误差
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在选择压力传感器时,应考虑压力传感器的精度。有许多因素造成的传感器的误差,和4种错误,压力传感器不能避免被描述如下:
1、灵敏度误差:误差大小与压力成正比。如果该装置的灵敏度高于典型值,灵敏度误差将是压力的增加函数。如果灵敏度低于典型值,那么灵敏度误差将是一个递减函数的压力。这个错误的原因是扩散过程的变化。
2、偏移误差:由于压力传感器在垂直迁移的压力范围内保持恒定,所以激光调整和变换的变化会产生偏移误差。
3,滞后误差:在大多数情况下,压力传感器的滞后误差是可以忽略不计的,因为硅晶片具有非常高的机械刚度。一般只需要考虑压力变化情况下的滞后误差。
4、线性误差:这是一个小的影响因素,对压力传感器的初始误差,误差是物理非线性硅的原因,但与传感器放大器也应包括非线性放大器。线性误差曲线可以是一个凹曲线或一个凸形曲线称重传感器。
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